InAs MOS capacitors;Fabrication & Characterization
Smartphones ger dig tillgång till internet, tusentals appar och telefoni i en förpackning inte större än att den får plats i din ficka. Det är en av produkterna av 50 års forskning inom halvledarteknik. Forskning som idag står inför en stor utmaning med att fortsätta utvecklandet i samma takt som tidigare \cite{MArden2002371}. Den här artikeln beskriver försök att undersöka nya material som kan löThe down scaling of metal-oxide-semiconductor based devices has been halted by the shortcomings of silicon. To enable further miniaturization new materials are required. The proposed replacements include compound III-V semiconductors and high-k oxides, the implementation of which has been difficult. This work investigates metal-oxide-semiconductor capacitors fabricated on InAs substrate. The oxide